不锈钢硅烷燃烧塔-江苏协佳环保科技有限公司

产品介绍

不锈钢硅烷燃烧塔系统

从PECVD工艺设备出来的废气主要为硅烷及氨气。硅烷是一种可燃性气体，并且易自燃（接触空气后就会燃烧），而氨气是一种可溶性气体，处理这些混合废气分两步走：先燃烧后喷淋吸收。本项目采用1套我公司最新研制生产的XJR-II-2型不锈钢硅烷燃烧塔。

PECVD的工艺废气设备具体处理过程如下：

含有硅烷及氨气等成分的混合废气通过管道进入不锈钢硅烷燃烧塔中，在燃烧塔的燃烧室内硅烷气体与通入的压缩空气接触燃烧，燃烧后产生的二氧化硅粉尘从燃烧室底部的排渣口排出，而含有氨气的其他废气进入喷淋洗涤室。在喷淋洗涤室中，氨气与循环液发生反应而被处理掉，处理完的气体经脱液室脱液处理后由抽风机抽出，最后通过排放烟囱排入大气，排出气体达到GB14554-93《恶臭污染排放标准》标准。当PECVD发生故障而出现应急排放时会排出大量的纯硅烷，为了提高系统处理应急排放时的废气处理能力，本系统在燃烧塔前接一个不锈钢硅烷应急燃烧筒。

具体处理如下图：

为了提高设备安全性，在进气方面采用压缩空气加新风补气的双进风形式；在喷淋系统方面，采用循环水泵与自动补水相结合的方法；清渣方面采用我公司最新研制的隔离清渣系统，可以在不停机的状态下轻松解决清渣问题，解决以往必须停机才可清渣的缺点；在喷淋室内加装了一套粉尘分离系统，可以有效的将少量没能在燃烧室沉积下来的二氧化硅粉尘进行自动分离，这些最新的结构设计使整个设备真正做到24小时不停机运行；风机采用一用一备形式。这些工艺特点一方面使得本产品在安全可靠性方面得到进一步的保证，另一方面彻底解决因设备停机检修而给用户带来的直接经济损失。